電子半導體生產車間噴涂工藝會產生廢氣，也稱電子噴涂廢氣。噴涂廢氣主要成份有甲苯、二甲苯等有機廢氣。噴涂廢氣揮發(fā)出來后形成VOCs，產生光化學反應形成霧霾，破壞臭氧層，對人體和大氣造成危害。因此，電子噴涂廢氣處理是環(huán)評要求重點，也是電子半導體企業(yè)必須要達標排放的廢氣處理要求。
　　
　　噴涂廢氣治理方法
　　
　　為了有效地對噴涂廢氣t進行處理，采用各種物理、化學以及生物等處理方法對其進行處理。目前，根據(jù)處理后廢氣的不同的形式。可以將處理技術分為銷毀法和回權法銷毀法是指將有機廢氣徹底地轉化為環(huán)境無害的物質，如CO2和H2O，最常見的方法是燃燒法和生物法：回收法是指通過改變環(huán)境條件或者采用一定的分離方法.將有機廢氣進行分離最終實現(xiàn)有機廢氣“變廢為寶”，加工處理后，再次進入噴涂系統(tǒng)作為溶劑等重復利用。下面對常用的治理方法進行介紹。
　　
　　2.1燃燒法
　　
　　燃燒法是指在一定的催化劑或者其他條件下.使廢氣中的能夠燃燒的物質通過一系列的化學變化，分解轉化為環(huán)境無害或者可再次回收利用的物質。這種方法操作簡單，通常用來處理高濃度廢氣.經過燃燒廢氣中大部分物質能被處理，效率高但是這種方法通常需要使用一定的催化劑.常出現(xiàn)催化劑中毒現(xiàn)象
　　
　　2.2生物法
　　
　　生物凈化法，一般是利用微生物對有機廢物進行降解，使其變?yōu)榄h(huán)境無害的物質.這種方法是從微生物處理污水中借鑒來的。只要條件適宜，普遍存在的微生物能夠分解幾乎全部地有機物及無機物，因此生物凈化法在治理污染物中應用廣泛，但是由于一般情況下，微生物新陳代謝較慢，并且所需要的環(huán)境條件苛刻.導致處理工序時間過長，成本較高。
　　
　　2.3吸附法
　　
　　吸附法包括化學吸附法和物理吸附法化學吸附法是指吸附劑通過與被吸附物質通過化學鍵的連接的發(fā)生締和.從而將污染物中的一部人物質被吸附劑吸附：物理吸附法是指吸附劑與被吸附物質之間通過分子間作用力結合.雙方性質都沒有發(fā)生改變.及此過程中沒有涉及化學反應。在對VOCs的治理中.吸附法是應用最廣泛的治理技術.最常見的吸附劑就是活性炭。但是現(xiàn)在工廠里采用的活性炭吸附工藝中.沒有設置回收再利用工藝.活性炭無法回收利用.因此工藝成本較高.不符合持續(xù)發(fā)展的理念
　　
　　本文綜合傳統(tǒng)的有機廢氣處理方法，全面分析幾種經典處理方法的優(yōu)缺點，并且針對某電子公司的廠房設備、生產條件以及工藝過程，再結合噴涂過程中產生廢氣的特點，即低濃度、大風量.科學合理地設計了一套綜合治理工程：吸附處理一脫附再生一燃燒釋放。
　　
　　3噴涂廢氣治理工程
　　
　　3.1治理工程概述
　　

　　由于在電子產品噴涂工藝結束之后，產生的有機廢氣中夾雜著細微顆粒物以及一部分漆霧，如果這些細微顆粒物質和漆霧與有機廢氣一起進入活性炭吸附室.會大大降低活性炭吸附有機廢氣的活性位點，降低吸附效率，因此廢氣進入吸附室之前.需要進入霧化洗滌塔.通過洗滌.除去細微顆粒和漆霧。因此，噴涂廢氣需經過圖1中處理流程。

　　
　　3.2治理工程工藝介紹
　　
　　噴涂過程產生的廢氣通過圖1所示的工藝流程圖進行綜合治理，具體地：噴涂后的廢物先經過霧化洗滌塔.霧化洗滌塔是由多層帶孔纖維層組成.并且從第一層開始以后每層單位面積內孔數(shù)變多。當廢氣通過洗滌塔時.廢氣中的細微顆粒、漆霧及一小部分有機物不斷與微孔發(fā)生碰撞，粘合，細微顆粒不斷細化并且一級一級不斷被粘附，最終被全部粘合。
　　

　　噴涂廢氣處理工藝和方法選擇上，要結合電子半導體企業(yè)實際生產需要，制定切實可行的噴涂廢氣處理方案。電子半導體行業(yè)產生廢氣處理方法也在不斷更新，未來噴涂廢氣處理真正實現(xiàn)零排放也將推進進程。